Pred kratkim je Šanghajski inštitut za mikrossistem in informacijsko tehnologijo Kitajske akademije znanosti razvil visokozmogljivo MEMS hitro odmevno ogledalo z integriranimi kotnimi senzorji . Zrcalo ima veliko velikost, majhno glasnost paketov, odlično zmogljivost in velik potencial v laserskih satelitskih komunikacijah.
Hitro odmevno ogledalo je trajalo skoraj pet let, da se je razvilo ., sprejema dvoslojno heterogeno integracijo in tehnologijo vezave na ravni rezin, njegova glasnost pa je le velikost a 1- kovanca .
Premaga tehnična ozka grla tradicionalnih mehanskih hitro odpiralnih ogledal in originalnih MEM-
Navdušen z zaslonom mobilnega telefona je ekipa uporabila načelo silicijevega piezoresistivnega seva, da je integriral senzorje kota na čipu, s strukturno inovacijo
Rezultati preskusov kažejo, da natančnost kota pri določeni frekvenci ustreza standardu, največja dinamična deformacija površine pa je le 2 nanometri .
Uradnik je naredil analogijo, ki je enakovredna vsem vzponom in padcem na ogledalu velikosti nogometnega igrišča, ki ne presega premera las, in ustreza strogim zahtevam satelitske laserske komunikacije na dolge razdalje na površini ogledala .
