1｜Razprava o aluminijevem oksidu in njegovi uporabi Keramika iz aluminijevega oksida se zaradi svoje izolacije,-temperaturne odpornosti, odpornosti proti obrabi, odpornosti proti koroziji in visoke kemične stabilnosti pogosto uporablja na področjih, kot so polprevodniki, nova energija in visoko{2}}elektronika. Keramika iz aluminijevega oksida se lahko dobro prilagodi ekstremnim okoljem, kot so vakuum in visoke temperature, zaradi česar je primerna kot surovine za procesne komponente v polprevodniški opremi. Samo odlični materiali še zdaleč niso dovolj; ti materiali zahtevajo tudi odlične tehnike obdelave v vrhunski -opremi ali postopkih, da v celoti uresničijo svoje lastnosti in dosežejo večji preboj v natančni proizvodnji. Na primer, plinske šobe, ki se uporabljajo v polprevodniški opremi, potrebujejo visoko odpornost proti koroziji, ki se običajno doseže s keramičnimi materiali iz aluminijevega oksida. Da bi šobi omogočili doseganje optimalne učinkovitosti nadzora, je potrebna natančna tehnologija obdelave mikro-luknjic za ustvarjanje dobre strukture mikro-luknjic, ki omogoča natančen nadzor hitrosti in volumna pretoka plina/tekočine. Zato se razmerje med aluminijevim oksidom in dobrimi tehnikami obdelave medsebojno krepi.
2｜Razprava o obdelavi mikropor aluminijevega oksida Obdelava keramike je bila vedno izziv. Prvič, to je trd in krhek material; uporaba tradicionalnih mehanskih metod vrtanja zlahka povzroči mikro-razpoke in odkruške, zaradi česar je težko zagotoviti izkoristek. Drugič, je izolacijski material in ni -prevoden, zato visoko-natančne obdelave z električnim praznjenjem ni mogoče uporabiti. Pred pojavom femtosekundnih laserjev je bilo doseganje visoke-natančnosti in visoko{8}}kakovostne obdelave keramičnih mikropor iz aluminijevega oksida težka naloga. Kljub temu, kako je mogoče oceniti visoko natančnost in visoko kakovost? Z drugimi besedami, kako ocenimo, ali so kazalci obdelave mikropor dobri ali slabi? Menim, da obstajata dva vidika: velikost mikropor in morfologija mikropor.
1. Velikost mikropor vključuje: premer luknje in njegovo natančnost, okroglost, koničnost itd. Ti trije kazalniki odražajo predvsem tri-dimenzionalno velikost mikropor, natančnost pa predstavlja odstopanje med idealno vrednostjo in dejansko vrednostjo, ki jo lahko doseže tehnologija obdelave.
2. Morfologija mikropor vključuje: morfologijo površine in morfologijo bočnice. Ta dva indikatorja v glavnem preverjata, ali imata vhod v luknjo in notranja stena plast ponovnega -taljenja, odkruške, brizganje, razpoke ali gladkost površine. Ti indikatorji vplivajo na preboj svetlobnih žarkov, plinov in tekočin ter vplivajo na zanesljivost in življenjsko dobo izdelka.
3｜Razprava o femtosekundni laserski obdelavi aluminijevega oksida Femtosekundni laser kot vrhunska-tehnologija obdelave mikroluknjic kaže pomembne prednosti pri obdelavi aluminijevega oksida. S svojo ultra-širino impulza in izjemno visoko konično močjo lahko odstrani kateri koli trden material, ne da bi šel skozi staljeno stanje. Skupaj z mikrometrsko-fino gravuro so mikroluknje zelo natančne z odlično okroglostjo. Poleg tega hladna obdelava femtosekundnih laserjev preprečuje nastanek prelitih plasti, mikrorazpok na površini ali notranjih stenah aluminijevega oksida in ne povzroča porumenelosti ali črnenja materiala. Z drugimi besedami, ne glede na način obdelave ali razmerje sestave keramike iz aluminijevega oksida lahko femtosekundni laserji dosežejo ultra-visoko natančnost, visoko{9}}kakovostno obdelavo mikroluknjic. Trenutno lahko femtosekundni laserji dosežejo obdelavo mikroluknjic z najmanjšim premerom 0,02 mm (debelina 0,2 mm) in natančnostjo znotraj ±1 μm. Ali poznate še kakšno drugo tehnologijo, ki lahko doseže takšno obdelavo mikroluknjic?
